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真空检漏的作用和方法

—个理想的真空系统或真空容器,应当是不存在任何漏孔,不产生任何漏气现象的。但是任何真空系统或真空容器来说绝对不漏的现象是不可能的。特别是在压力极低的情况下,随漏气现象的影响不断加剧,真空度达不到预定的工艺要求,是一个相当普遍的问題。为此检测真空系统或真空容器存在的漏气部位、确定漏孔的堵塞漏孔从而消除 漏气现象,就成为真空技术工作者的一项重要工作。

所谓漏气或称实漏、它是指气体通过真空系统上的漏孔或间隙,从侧流向低压侧的一种现象。真空检漏技术中常用基本概念主要有如下各点。

①虚漏是相对于实漏而言的一种物理现象。这大都是由于材料的放气、解吸、凝体或系统内存在死空间中气体的流出等原因而引起真空系统或容器中压力升高的一种现象,真空检漏作业时要排除虚漏的影响。

②气密性-它是表征真空系统或容器的壁对空气不可渗透程度的一种性能。

③漏孔-漏孔是指真空器存在的形状不定、极其微小的孔洞或间陳。大过这种小孔或间隙进人真空系统或容器中。

④漏率-漏率即漏气速率。它是指单位时间内通过漏孔或间隙流人到真空系统或容器内的气体量。

⑤最小可检漏率它是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的最小漏率。

⑥检漏灵敏度或称有效灵敏度,即检漏仪器 在最佳工作状态下能检测出的最小漏率。

⑦反应时间又称响应时间,它是指从检漏方法开始实施(如开始喷射示漏气体)到指示方法或仪器指示值上升到其最大值的63%时所需要的时间.

⑧消除时间它是指从检漏方法停止(如停止 喷吹试漏气体)到指示方法或仪器指示值下降到停止值的37%时所箝要的时间,

⑨漏孔堵塞现象它是指由尘埃或液体所造成 的漏孔堵塞,这些堵塞常常是指由于检漏作业搡作不当而导致发生的一种暂时现象,检漏时似乎不漏气, 但一经排气又会出现漏气的一种现象。

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